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PECVD系统
2023-11-28 17:40  浏览:4
 PECVD系统加热腔体采用氧化铝纤维制品,其极低的热导率和比热容,保证了炉膛的快速升温和低蓄热,特别适合于科研单位的材料工艺研究。加热元件选用电阻丝加热,有利于炉内温度场的均匀分布。高温真空电阻炉温度控制系统采用经典的闭环负反馈控制系统,控温仪表选用智能型程序温度调节仪表控温,电力调制器控制;负载采用小电压大电流控制,从而大大提高了发热元件的寿命,测温元件采用K型热偶。采用单回路温控仪能够自整定PID

参数,无须操作人员的干预,可自行根据不同温度曲线的升、降温要求调整输出信号,同时系统设置了超温、欠温、断偶报警保护功能,大大降低了对操作人员经验的要求,关键电气元件采用优质的进口产品,做到高性能、免维护,提高了设备质量的可靠性。

安徽贝意克设备技术有限公司成立于2012年,隶属百思集团,其平行公司有百思新材料研究院有限公司、合肥莱德装备技术有限公司、天津百诺金科技有限公司、合肥欧莱迪光电技术有限公司、安徽贝意克智能科技有限公司。贝意克公司于2020年在合肥5亿元新建5万平米贝意克智能装备产业园。设有贝意克工程设计中心,贝意克工程技术中心,贝意克联合实验室等研发公共服务平台。

贝意克主要从事实验室仪器设备的研发生产,主营各类型箱式炉、管式炉、CVD、PECVD、ALD、PVD磁控溅射、真空镀膜、薄膜制备、纳米材料制备装备、各种高精度真空箱以及各类非标定制,产品领域涉及科研、光电产业化、半导体、军工等高科技产业。

公司致力于提供专业的设备、技术和服务,助力全球新材料研发。

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